Cours de techniques de mesures

Capteurs industriels usuels

TDM AKA

Introduction

Ce sont les capteurs qui transforment les grandeurs

physiques indispensables aux objectifs des mesures,

en grandeurs lectriques facilement mesurables et

enregistrables.

TDM AKA

Introduction
Grandeur physique
Gnrer un effet de la grandeur
physique

Transformer leffet en une grandeur

mesurable
(talon, corps dpreuve)
Convertir / enregistrer / afficher la
mesure
Augmenter la rsolution
TDM AKA

Principe
physique de la
mesure

Traitement du
signal
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Introduction

Capteurs communs:
-Capteurs de temprature
-Capteurs jauge de contrainte
-Capteurs de dplacement
-Capteurs pizo-lectriques

TDM AKA

Capteurs jauges de
contrainte
Capteurs jauges de contrainte
Deux grandes familles : trames mtalliques

semi-conducteurs

Elles sont intgres dans un film souple quon peut coller sur un support
rigide

TDM AKA

Capteurs jauges de
contrainte
Illustration de quelques jauges de contrainte.

Jauges biaxiales Vishay

Jauges Vishay

Diverses jauges de HBM

Rosette pour membrane

Rosette 45
TDM AKA

Rosette 120
Rosette pour membrane
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Capteurs jauges de
contrainte
Gnralits
Les jauges de contrainte servent mesurer des dformations.
L'application d'une contrainte (F/S) sur une pice En respectant la loi de
Hooke (domaine lastique 0.2 % ; dformation ~ contrainte)
Cre une dformation ; =l/l.
Le module de Young E lie la contrainte et la dformation s'ils sont dans le
mme sens = 1/E.
Le coefficient de Poisson (=0.3) lie la dformation de la direction de la
contrainte principale la dformation perpendiculaire. = -
Sensibilit la temprature => coeff. de temprature j/s ~=0.7 - 2.5 E-5 /C
Remdes: Jauges auto compenses j/s ~=1.5 E-6 /C
Proprits du pont de wheastone.
Bande passante dpend de la taille (100KHz pour une jauge de 1mm2)
TDM AKA

Capteurs jauges de
contrainte
Lois de comportement
Variation de rsistance par :
Lapplication dun effort F sur le support mtallique se traduit par une
variation relative de la longueur du support induisant une variation
relative de la rsistance de la jauge.

Avec K: facteur de jauge valant 2 4 pour les jauges mtalliques allant

jusqu 150 pour les jauges semi-conductrices.

TDM AKA

Capteurs jauges de
contrainte
Lois de comportement
La variation de rsistance est due aux variations de la rsistivit et aux
changement gomtrique. RR ll 2dd

L'effet piezorsistif c VV avec c :constante de Bridgman montre le

Lien entre la variation de la rsistivit des mtaux et leur variation de
volume.
En tenant compte des dformations longitudinales l et transverse t on
arrive l'expression RR K avec K le facteur de jauges K 1 c 2(1 c)
l

Les mtaux utiliss pour les jauges mtalliques ont un c =1 et =0.3

do gnralement K~=2
TDM AKA

Capteurs jauges de
contrainte
Le pont de Wheatstone
Cest le montage le plus utilis pour mesurer avec les jauges de
contrainte. Car il met en
vidence les diffrences entre
les lments constituants
le pont.

Proprit: Les lments adjacents sont de signe contraire les lments

opposs sont de mme signe.
Les principales configurations de montage sont rsumes dans le tableau
suivant.
Pour des montages trs prcis on peut tre emmen compenser la
longueur des lignes dont la variation sous leffet de T peut tre du mme
ordre de grandeur que les mesures voulues.
TDM AKA

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Capteurs jauges de
contrainte

TDM AKA

11

Capteurs jauges de
contrainte
Capteurs courants jauges de contrainte
Capteurs de pression
Bass sur la dformation dune membrane.

TDM AKA

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Capteurs jauges de
contrainte
Capteurs courants jauges de contrainte
Capteurs de pression
.

PM Instrument

Pression diff. "FUJI"

diffrentiel"Honeywell"

Automobile
TDM AKA

"ONERA"

Piezorsistif "Sensortechnics"
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Capteurs jauges de
contrainte
Capteurs de force
Bass sur la dformation en gnral en flexion dune structure.

Traction , compression
"TESTWELL"
Couple; Rondelle
charge"TEST"

"Captronics"
TDM AKA

Traction
compression "TME"

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Capteurs jauges de
contrainte
Capteurs dacclration
Leffort lencastrement est limage de lacclration subie par la
masse suspendue

TDM AKA

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Capteurs jauges de
contrainte
Quelques dtails sur les acclromtres.

Corps dpreuve: poutre en flexion

Mesure: dformation due la force
inertielle (jauges intgres)
Filtre passe bas 2d ordre
Frquences caractristiques: fn, fref
c
x

xm

mxm cxm kxm mx

G( s)
TDM AKA

1
s 2 2 0 s 02
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Capteurs de dplacements
optique incrmentaux

Etalon: rseau (C)

Mthode de mesure:
Transmission
Rflexion

Signaux en crnaux:

Obturation
Quadrature
Signaux sinusodaux:
Interfrence/diffraction
Interpolation

Rgle linaire

Mesure:
Incrmentale
Absolue

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Capteurs de dplacements
optique incrmentaux
Capteurs de dplacement optiques incrmentaux et absolus:

Incrmental

Absolu

TDM AKA

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Capteurs de dplacements
optique incrmentaux
Capteurs de dplacement optiques incrmentaux signaux

S1 A sin
avec
TDM AKA

2x
C /i

et

S 2 A cos
i 1 ou 2
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Capteurs de dplacements
optique incrmentaux
Exploitation des signaux A,A/ & B,B/
Pour une augmentation de la rsolution dun facteur 4

TDM AKA

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Capteurs de dplacements
optique incrmentaux
Augmentation de la rsolution par interpolation
Par diviseur de tension

Par traitement digital

TDM AKA

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Capteurs de dplacements
optique incrmentaux
Exploitation des signaux A,A/ &.B,B
Pour dtecter un parasite (une erreur)

TDM AKA

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Capteurs de dplacements
optique incrmentaux
Quelques capteurs incrmentaux
Rgle incrmentale ouverte
"Heidenhain"

Codeur incrmental
"LTN"

Rgle incrmentale ferme

"Heidenhain"
TDM AKA

Palpeurs incrmentaux
"Heidenhain"
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Capteurs de dplacement
inductif
Les capteurs de dplacement inductif de type LVDT
(Linear Variable Diffrential Transformer)
Principe de fonctionnement:
Le champ dune bobine primaire est plus ou moins coupl avec deux
bobines secondaires selon la position dun noyau plongeur
ferromagntique.

TDM AKA

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Capteurs de dplacement
inductif
Schma quivalent et quations

TDM AKA

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Capteurs de dplacement
inductif
Conditionnement
On utilise la dmodulation synchrone pour recueillir le signal
proportionnel au dplacement.

Allure du signal
la sortie du
dmodulateur

TDM AKA

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Capteurs de dplacement
inductif
Caractristiques principales

Le LVDT est un capteur de dplacement absolu

Il est trs robuste
Sa rsolution est submicronique
La linarit est de lordre de 0,1% de la pleine chelle

TDM AKA

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Capteurs de dplacement
inductif
Quelques LVDT

LVDT
"RDP"
TDM AKA

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Capteurs de dplacement
inductif

Couplemtre
Mesure: dformation
due au couple
Corps dpreuve: arbre
Transformateur
diffrentiel en rotation

LVDT
"RDP"
TDM AKA

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Capteurs de dplacement
courants de Foucault
Le capteur de dplacement courant de Foucault
Principe de fonctionnement et quations

TDM AKA

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Capteurs de dplacement
courants de Foucault
Le capteur de dplacement courant de Foucault
Conditionnement: Montage en pont & dmodulation synchrone
Caractristiques et utilisation:
-excellente rsolution 30nm
-utiliser sur une portion linaire
-on trouve aussi des excutions dtecteur
-tre attentif la taille de la cible.
-tre attentif la nature et la structure de la cible

TDM AKA

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Capteurs de dplacement
courants de Foucault
Quelques capteurs courant de Foucault

TDM AKA

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Capteurs de dplacement par

triangulation
Les capteurs de dplacement par triangulation
Principe de fonctionnement:
Un faisceau lumineux incident est focalis sur la cible.
Le faisceau rflchi claire en fonction de la distance un endroit sur un
capteur optique de type CCD ou PSD.
Principaux type
-Les capteurs rflexion diffuse
-Les capteurs rflexion spculaire
Plage: 20 75mm
Plage: environ 50 m
Rsolution: 2 5 m
Rsolution: environ 15 nm

TDM AKA

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Capteurs de dplacement par

triangulation
Les capteurs de dplacement par triangulation

Capteur rflexion diffuse

"SUNX"

Capteur laser
"Keyence"

TDM AKA

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Capteurs de dplacement
capacitif
Les capteurs de dplacement capacitif
Principe de fonctionnement:
Bas sur la variation de la capacit dun condensateur plan en fonction de la
distance entre les armatures.

Principales excutions
-Tout types de cibles

TDM AKA

-Cibles mtalliques

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Capteurs de dplacement
capacitif
Quelques excutions de dplacement capacitif

Pour cibles mtalliques, et non mtalliques

"Micro Epsilon"

TDM AKA

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Capteurs de dplacement
capacitif
Les capteurs de dplacement capacitif
Mise en uvre
On impose un courant sinusodal la capacit; la tension ses bornes vaut:

La tension est proportionnelle la distance.

Caractristiques principales
Les capteurs capacitifs peuvent descendre 3nm de rsolution
La dynamique est suprieure 10KHz
Ils conviennent tout types de cibles.

TDM AKA

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Capteurs de vitesse
tachymtre

Vitesse angulaire

U Rch arg e I E ( ) Ri I
I trs faible
U E ( )

TDM AKA

Ri
E

Rcharge

dynamo

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Capteurs de vitesse
tachymtre
Gnratrices tachymtriques

TDM AKA

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Capteurs pizo-lectriques
Les capteurs pizo-lectriques
Principe de fonctionnement:
Ils sont bass sur la variation de la polarisation D dun rseau cristallin
soumis une contrainte mcanique.
Repre et efforts

TDM AKA

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Capteurs pizo-lectriques

Matriaux prsentant un effet piezo lectrique

TDM AKA

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Capteurs pizolectriques
Mise en uvre
Les capteurs piezo lectriques sont utiliss pour des mesures dynamiques.
Schma quivalent lectrique

Pour conditionner un capteur piezo on utilise un amplificateur de charge.

Leur particularit est une trs grande impdance dentre.

Schma de lensemble capteur cble ampli.

TDM AKA

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Capteurs pizolectriques
Capteurs pizolectriques usuels
Acclromtres:
-Excellente bande passante, frquence de rsonnance jusqu 150 KHz
Acclromtre piezolectrique
Triaxial "Bruel&Kjaer"

Capteurs de force:
-Rigidit et frquence de rsonnance plus grandes que ceux des
capteurs jauges de contrainte.
Rondelle de charge
"Kistler"

Capteurs de pression:
-Excellente dynamique temporelle, haute plage de pression.

TDM AKA

"Kistler"

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Caractristiques des capteurs

Sensibilit

du
S
dx

TDM AKA

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Caractristiques des capteurs

Rsolution

1
R
S
Pouvoir de rsolution

R
P
Em
rsolution divise par ltendue de la mesure
TDM AKA

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Caractristiques des capteurs

Hystrsis
Ou erreur de rversibilit. On obtient des indications diffrentes pour la
mme mesurande en croissant ou en dcroissant

TDM AKA

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Caractristiques des capteurs

Non linarit

TDM AKA

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Caractristiques des capteurs

Prcision
Qualit globale dun instrument. Un instrument est dautant plus
prcis que la valeur fournie est proche de la valeur vraie.

Finesse
Capacit peu perturber la mesurande.

Erreur absolue
Diffrence entre la mesure et la mesurande E = Xm - X

TDM AKA

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Caractristiques des capteurs

Correction
Erreur absolue change de signe

C=-E

Erreur relative
Sexprime en %

E
Er
X

Erreur absolue sur valeur vraie

Erreur systmatique
Erreur qui reste constante en valeur absolue et en signe quand on
fait plusieurs mesures
TDM AKA

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Caractristiques des capteurs

Rapidit temps de rponse

Abilit de la sortie dun capteur suivre les variations temporelles de la
mesurande.

talonnage
Permet dajuster et de dterminer sous forme algbrique ou
graphique, la relation entre la grandeur de sortie et la mesurande.

TDM AKA

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