xps测试原理及分析-科学指南针

XPS, 全称为X-ray Photoelectron Spectroscopy(X射线光电子能谱), 早期也被称为ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)。X射线光电子能谱是重要的表面分析技术之一，它不仅能探测表面的化学组成，而且可以确定各元素的化学状态。

一、X射线光电子能谱分析的基本原理：

一定能量的X光照射到样品表面，使样品中原子或者分子的内层电子受激发射出来，(被光子激发出的电子称为光电子)，然后测量这些光电子的能量分布。通过研究他们的能量分布来确定样品表面的组成和结构。

二、 X射线光电子能谱分析的具体方法：

1.化合物中元素种类的分析——全谱分析

对于一个化学成分未知的样品，首先应作全谱扫描，来初步判定表面的化学成分。全谱能量扫描范围一般是0-1200 eV ,因为几乎所有元素的最强峰都在这一范围这内。

由于组成元素的光电子线和俄歇线的特征能量值具唯一性，与XPS标准谱图手册和数据库的结合能进行对比，可以用来鉴别某特定元素的存在。

2.化学态与结构分析——窄区扫描(也叫精细谱)

如果测定化学位移，或者进行一些数据处理，如峰拟合、退卷积、深度剖析等，则必须进行窄扫描以得到精确的峰位和好的峰形。扫描宽度应足以使峰的两边完整，通常为10eV~30eV。可用计算机收集数据并进行多次扫描。

三、X射线光电子能谱定量分析方法：

鉴于光电子的强度不仅与原子的浓度有关，还与光电子的平均自由程、样品的表面光洁度，元素所处的化学状态，X射线源强度以及仪器的状态有关。因此，XPS技术一般不能给出所分析元素的绝对含量，仅能提供各元素的相对含量。

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