SECS/GEM半导体协议介绍视频

最新推荐文章于 2025-05-21 12:35:07 发布

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SECS/GEM协议是半导体设备与主机间通信的标准接口，由SEMI制定。它定义了消息、状态机和方案，使得晶圆厂主机能控制和监视设备，包括启动/停止处理、配方选择、参数查询等。该协议独立于平台和技术，提供互操作性和灵活性。设备制造商和工厂可以使用符合SECS/GEM标准的软件，如EIGEMHost和EIGEMSim，以降低成本和提升兼容性。

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SECS/GEM半导体软件开发金南瓜半导体讲解

GEM 是指 SEMI E30 标准,它使用 SEMI E5标准中定义的消息类型的子集来描述设备行为和通信的通用模型。

SECS（半导体计算标准）/GEM（通用计算模型）是半导体设备和晶圆组主机之间通信的通信接口协议。 Fab 主机是一个软件应用程序，它使用 SECS/GEM 协议来控制和监视设备的处理。符合 SECS/GEM 的设备可以使用 TCP/IP（使用 SEMI 标准 E37 和 E37.1 = HSMS）或 RS-232（使用 SEMI 标准 E4 + SECS-I）与晶圆组主机通信。 SECS/GEM 标准接口用于启动和停止设备处理、收集测量数据、选择产品配方和更改变量。使用 SECS/GEM，您可以以标准方式执行所有这些操作。 SECS/GEM 协议由非营利组织 SEMI 标准化。有关 SEMI 标准和 SSECS/GEM 协议的详细信息，请查看

简而言之，SECS/GEM 标准定义消息、状态机和方案，以便工厂主机应用程序可以控制和监视制造设备。创业板标准正式指定为SEMI标准E30，但有时称为创业板或SECS/创业板标准。创业板对设备制造商和设备供应商都有