单光子激光雷达探测器观察2025.3.10

一.国产单光子激光雷达探测器概述

1.1 定义与原理

单光子激光雷达探测器是一种基于 单光子雪崩二极管(SPAD) 的高灵敏度探测设备。其核心原理是利用SPAD的雪崩效应，在接收到单个光子时产生雪崩电流，从而实现光子级别的灵敏度。

这种探测器采用 时间相关单光子计数(TCSPC) 技术，通过记录光子到达时间来重建反射光脉冲波形，进而实现高精度测距。SPAD的 高灵敏度 和 快速响应 特性使其能够在弱光环境下工作，大大提高了激光雷达的探测距离和精度。

1.2 应用领域

单光子激光雷达探测器作为一种高灵敏度探测设备，在多个领域展现出广泛应用前景：

1. 大气测污 ：通过精确测量大气污染物浓度分布，为环境保护提供重要数据支持。
2. 激光雷达 ：实现高精度三维环境感知，广泛应用于自动驾驶、机器人导航等领域。
3. 辐射探测 ：用于核能、医疗等领域的辐射剂量测量和安全监测。
4. 量子密钥分发 ：为量子通信提供关键技术支持，保障信息安全。
5. 生物发光 ：用于生物医学研究中的荧光标记检测和生物成像。

这些应用充分体现了单光子激光雷达探测器在高精度探测和成像方面的独特优势，为相关领域的技术进步和创新提供了重要支撑。

二.研发机构与历史

2.1 主要研发机构

在国产单光子激光雷达探测器的研发领域，多家机构展现出强劲的创新实力和技术积累。这些机构不仅在基础研究方面取得突破，还积极推动技术的产业化应用，为我国激光雷达产业的发展奠定了坚实基础。

以下是几个主要的研发机构：

1. 中国科学院微电子研究所

该所作为国内微电子领域的重要研究机构，在单光子激光雷达探测器的研发方面发挥了关键作用。其研究团队主要由赵浴阳、周鹏飞等专家组成，依托于中国科学院微电子研究所的先进研发设施，专注于 单光子雪崩二极管(SPAD)探测器 的研究与开发。

研究所的研究方向包括：

• 脉冲累积技术：提高探测灵敏度
• 编码调制技术：增强抗干扰能力
• 啁啾调制技术：提升测距精度

这些技术突破为国产单光子激光雷达探测器的性能提升提供了重要支撑。

2. 中国科学院光电技术研究所

作为国内光电技术领域的领军机构，在单光子激光雷达探测器的研发方面也取得了显著进展。该所的研究团队主要由刘博、蒋贇等专家组成，依托于中国科学院光电技术研究所的先进实验平台，重点开展 全天时单光子激光雷达 技术的研究。

研究所在单光子激光雷达探测器领域的主要贡献包括：

• 新型光谱滤波技术：大幅提升白天探测性能
• 普适性评价模型：直观评估激光雷达系统性能

这些创新成果不仅提高了国产单光子激光雷达探测器的实际应用能力，还为行业标准的制定提供了重要参考。

3. 中国科学院上海技术物理研究所

该所的舒嵘团队在单光子激光雷达探测器的应用研究方面做出了重要贡献。研究团队通过 外场成像实验 ，验证了单光子激光雷达在微弱信号回波下的测距和三维成像能力。这一成果为国产单光子激光雷达探测器在实际环境中的应用提供了重要的实验数据支持。

这些研发机构的努力不仅推动了国产单光子激光雷达探测器技术的进步，也为我国激光雷达产业的发展注入了新的活力。通过持续的技术创新和产业化应用，国产单光子激光雷达探测器有望在未来的智能交通、环境监测等领域发挥更加重要的作用。

2.2 发展历史渊源

国产单光子激光雷达探测器的发展历程可追溯至上世纪90年代，经历了多个关键阶段的技术突破和应用拓展：

1. 基础研究阶段 （20世纪90年代-21世纪初）

在这一时期，中国科研机构开始关注单光子探测技术的研究，主要集中在 单光子雪崩二极管(SPAD)探测器 的原理和性能优化上。中国科学院微电子研究所等单位开展了相关的基础研究工作，为后续的应用开发奠定了理论基础。

2. 应用探索阶段 （21世纪初-2010年）

随着激光雷达技术在航空航天、测绘等领域的广泛应用，国产单光子激光雷达探测器开始进入应用探索阶段。研究机构开始将SPAD探测器应用于 激光测距 和 三维成像 等领域，通过实验验证了其在微弱信号探测方面的优势。

3. 技术突破阶段 （2010年-2020年）

这一时期，国产单光子激光雷达探测器取得了多项关键技术突破：

• 全天时探测技术 ：中国科学院光电技术研究所开发的新型光谱滤波技术，显著提升了探测器在白天复杂环境下的探测性能[6]。
• 高灵敏度探测技术 ：中国科学院微电子研究所开发的脉冲累积技术，通过多个脉冲周期的光子计数累积，有效提高了探测器的灵敏度[5]。

这些技术突破为国产单光子激光雷达探测器在实际应用中的性能提升提供了重要支撑。

4. 产业化应用阶段 （2020年至今）

随着自动驾驶、智能交通等领域对高精度环境感知的需求日益增长，国产单光子激光雷达探测器开始进入产业化应用阶段。多家企业和研究机构合作，开发出了适用于不同应用场景的单光子激光雷达产品，如：

• 车载激光雷达 ：用于自动驾驶和辅助驾驶系统
• 工业测量激光雷达 ：用于高精度三维建模和工业检测
• 环境监测激光雷达 ：用于大气污染监测和气象研究

这些应用的拓展不仅推动了国产单光子激光雷达探测器技术的进一步发展，也为相关产业的升级提供了重要支撑。

三.技术现状与国产化

3.1 国产化程度

在国产单光子激光雷达探测器的发展历程中，国产化程度呈现出稳步提升的趋势。这一进展不仅体现在核心部件的自主研发上，还反映在整个产业链的逐步完善中。

国产单光子激光雷达探测器的国产化程度主要体现在以下几个方面：

1. 核心部件国产化

   • 单光子雪崩二极管(SPAD)芯片 ：南京大学微制造与集成工艺中心成功实现了芯片制备工艺的国产化。
   • 超导纳米线单光子探测器(SNSPD)芯片 ：南京大学超导电子学研究所研发团队自主完成了从单元器件到阵列芯片的全部关键技术。

2. 技术自主比例

   • 探测距离 ：达到数百公里（低空大气层）
   • 分辨率 ：相比传统体制雷达提高100倍
   • 抗干扰能力 ：显著提升
   • 反隐身能力 ：有效应对隐身目标

3. 国内供应商数量

   • 激光雷达整机厂商 ：禾赛科技、速腾聚创等
   • 激光雷达芯片供应商 ：尚未形成规模化产业集群

尽管取得了显著进展，国产单光子激光雷达探测器在某些关键技术和部件上仍面临挑战。例如，用于车载激光雷达的大面阵SPAD芯片技术仍主要掌握在国际供应商手中。然而，随着国内企业的持续投入和技术突破，预计国产化程度将进一步提高。

未来，随着国产单光子激光雷达探测器技术的不断成熟和产业链的完善，其在自动驾驶、智能交通、环境监测等领域的应用前景将更加广阔。

3.2 最新研发成果

国产单光子激光雷达探测器领域的最新研发成果彰显了我国在该领域的创新实力和技术突破。这些成果不仅推动了相关技术的进步，也为其在多个领域的应用奠定了基础。

中国科学技术大学和南京大学的研究团队合作，在 紫外波段单光子激光雷达 方面取得了重要突破。研究人员通过设计制备单光子雪崩光电二极管，结合主动淬灭主动恢复读出电路技术，成功研制出具有实用价值的紫外半导体单光子探测器。

这一成果为紫外波段单光子激光雷达提供了高性能、高环境耐受性的实用化解决方案。研究团队利用该探测器首次实现了单光子差分吸收臭氧激光雷达系统，能够在1-3.5公里高度范围内进行臭氧浓度监测。

相关研究成果已发表在国际学术期刊《应用物理快报》上，展示了国产单光子激光雷达探测器在大气环境监测领域的应用潜力。

中国科学技术大学王亮教授团队与问天量子有限公司合作，在 短波红外单光子激光雷达 领域取得重大进展。研究团队通过全自主研发的单光子探测器芯片，结合全光纤激光雷达技术，开发出了全天候、大扫描角度的激光雷达成像系统。

这一成果为短波红外单光子成像及其核心芯片制备提供了开创性方法。研究团队在芯片封装过程中采用金丝键合淬灭电阻的方式，使得InGaAs单光子探测器在优化过的读出电路下，能够以良好的光电性能工作在自由运行模式。

这项研究成果已发表在探测器领域的知名期刊IEEE Sensors Journal上，体现了国产单光子激光雷达探测器在成像技术方面的创新能力。

这些最新研发成果不仅展示了国产单光子激光雷达探测器在性能和应用方面的突破，也反映了我国在该领域的自主创新能力和技术实力。随着这些成果的进一步推广和应用，国产单光子激光雷达探测器有望在更多领域发挥重要作用，推动相关产业的发展。

四.技术路径对比

4.1 主要技术路径

在国产单光子激光雷达探测器的技术路径中，研究人员不断探索和创新，以提升探测器的性能和适用性。以下是几种主要的技术路径：

1. 单光子雪崩二极管(SPAD)技术

SPAD是目前最广泛应用的单光子探测技术。国内研究团队在SPAD的 像素尺寸缩小 和 阵列化 方面取得了显著进展。例如，宇称电子与瑞士洛桑联邦理工学院合作开发出全球最小的1.8 µm像素尺寸SPAD阵列。这一成果推动了单光子雪崩二极管技术的发展，有望在生物医学成像、量子信息、光通信等领域带来革命性的应用。

2. 硅光电倍增管(SiPM)技术

SiPM作为SPAD的阵列化形式，具有更高的探测效率和更低的噪声。国内企业在SiPM的 像素设计 和 读出电路 方面进行了深入研究。宇称电子开发的SiPM+ASIC方案大幅降低了车载激光雷达的成本，基于该方案的量产车载激光雷达能够率先降至千元人民币以内。

3. 背照式(BSI)工艺

在SPAD芯片制造工艺方面，研究人员采用了 背照式(BSI)工艺 来提高探测器的量子效率。这种工艺能够有效减少光子在探测器表面的反射和吸收损失，从而提高探测器的灵敏度。

4. 3D堆叠工艺

为了进一步提升探测器的性能，研究人员还探索了 3D堆叠工艺 。这种工艺能够在有限的芯片面积内集成更多的功能模块，如信号处理电路和温度控制电路，从而实现更高的集成度和更好的性能。

5. 直接飞行时间(dToF)技术

在信号处理方面， 直接飞行时间(dToF)技术 被广泛应用于单光子激光雷达探测器。这种技术通过精确测量光子飞行时间来重建目标距离信息，具有高精度和高分辨率的特点。国内企业如宇称电子开发的dToF读出电路ASIC芯片能够实现纳秒级的时间分辨率，为高精度激光雷达系统提供了关键支持。

通过这些技术路径的探索和创新，国产单光子激光雷达探测器在性能和成本方面取得了显著进步，为其在自动驾驶、工业检测、环境监测等领域的广泛应用奠定了坚实基础。

4.2 性能指标对比

在国产单光子激光雷达探测器的技术发展中，性能指标的提升是一个关键方面。与发达国家相比，国产单光子激光雷达探测器在多个性能指标上展现出了显著的进步：

1. 探测距离

• 国内：单光子激光雷达系统在低空大气层中已实现数百公里的探测距离
• 国外：具体数据未公开，但探测距离也在不断提升

2. 分辨率

• 国内：相比传统体制雷达提高100倍
• 国外：未公开具体数据，但分辨率提升是全球趋势

3. 灵敏度

• 国内：开发出具有实用价值的紫外半导体单光子探测器
• 国外：未公开具体数据，但灵敏度提升是全球研究重点

4. 响应速度

• 国内：开发出具有皮秒级快速响应能力的单光子探测器
• 国外：未公开具体数据，但快速响应是全球研究重点

值得注意的是，在某些关键性能指标上，国产单光子激光雷达探测器已达到或超越国际先进水平。例如：

• 探测效率 ：国内研发的InGaAs/InP SPAD单光子探测器在1550nm波段实现了26%的探测效率，达到国际先进水平。
• 时间分辨率 ：国内开发的dToF读出电路ASIC芯片能够实现纳秒级的时间分辨率，为高精度激光雷达系统提供了关键支持。

然而，在某些方面，国产单光子激光雷达探测器仍面临挑战。例如，用于车载激光雷达的大面阵SPAD芯片技术仍主要掌握在国际供应商手中。随着国内企业的持续投入和技术突破，预计这些差距将逐步缩小。

未来，随着国产单光子激光雷达探测器技术的不断成熟和产业链的完善，其在自动驾驶、智能交通、环境监测等领域的应用前景将更加广阔。

五.与国际水平比较

5.1 技术差距分析

在国产单光子激光雷达探测器的发展过程中，与发达国家相比，我们在多个方面仍存在一定的技术差距。这些差距主要体现在以下几个关键领域：

1. 探测效率

尽管国内在InGaAs/InP SPAD单光子探测器方面取得了显著进展，但在1550nm波段的探测效率仍与国际先进水平存在差距。例如，国内研发的探测器在1550nm波段实现了26%的探测效率，而国际领先水平可能已达到30%以上。这一差距直接影响了激光雷达系统的探测距离和精度。

2. 时间分辨率

虽然国内开发的dToF读出电路ASIC芯片能够实现纳秒级的时间分辨率，但在亚纳秒级别的时间分辨率方面仍落后于国际先进水平。这一差距限制了国产单光子激光雷达探测器在高精度三维成像和高速目标跟踪等应用中的表现。

3. 阵列化技术

在SPAD阵列化方面，国内虽然取得了显著进展，但与国际领先水平仍有差距。例如，宇称电子与瑞士洛桑联邦理工学院合作开发出全球最小的1.8 µm像素尺寸SPAD阵列，而国内在更小像素尺寸和更高像素密度的SPAD阵列技术方面仍有待突破。

4. 芯片集成设计

在芯片集成设计能力方面，国内厂商与国际领先企业仍存在一定差距。国外部分厂商已实现基于ASIC的激光雷达产品解决方案，将接收模块及主控模块集成至单一SoC中，而国内厂商在这方面的技术成熟度和量产能力仍需提升。

5. 材料和工艺

在单光子激光雷达探测器的核心材料和制造工艺方面，国内仍面临挑战。例如，用于车载激光雷达的大面阵SPAD芯片技术仍主要掌握在国际供应商手中。此外，在一些关键材料（如高性能InGaAs材料）的制备和加工方面，国内与国际先进水平仍有差距。

尽管存在这些差距，国产单光子激光雷达探测器在某些方面已经取得了突破性进展。例如，在紫外波段单光子激光雷达方面，中国科学技术大学和南京大学的研究团队合作开发出具有实用价值的紫外半导体单光子探测器，实现了1-3.5公里高度范围内的臭氧浓度监测。这一成果展示了国产单光子激光雷达探测器在特定应用领域的技术实力。

未来，随着国内企业和研究机构的持续投入和技术创新，预计国产单光子激光雷达探测器将在探测效率、时间分辨率、阵列化技术等方面逐步缩小与国际先进水平的差距。

5.2 竞争优势探讨

在探讨国产单光子激光雷达探测器的竞争优势时，我们需要全面考虑其在技术、成本和市场等方面的独特优势。这些优势不仅反映了国产产品的技术实力，也体现了其在特定应用场景下的价值。

国产单光子激光雷达探测器的竞争优势主要体现在以下几个方面：

1. 定制化灵活性

国产厂商在产品定制化方面展现出较大优势。与国际竞争对手相比，国内厂商能够更灵活地满足客户的特殊需求，为不同应用场景提供定制化解决方案。这种灵活性不仅体现在产品功能和性能的定制上，还包括生产周期和交付时间的优化。

2. 成本优势

国产单光子激光雷达探测器在价格方面具有明显优势。以车载激光雷达为例，国产产品的平均单价在3000元左右，远低于国际同类产品的价格水平。这种成本优势主要源于国内完善的产业链和规模化生产能力，使国产厂商能够在保证产品质量的同时实现成本控制。

3. 技术创新

国产单光子激光雷达探测器在某些关键技术领域取得了突破性进展。例如：

• 紫外波段单光子激光雷达 ：中国科学技术大学和南京大学的研究团队合作开发出具有实用价值的紫外半导体单光子探测器，实现了1-3.5公里高度范围内的臭氧浓度监测。
• 短波红外单光子激光雷达 ：中国科学技术大学王亮教授团队与问天量子有限公司合作，开发出全天候、大扫描角度的激光雷达成像系统。

这些技术创新不仅提升了国产单光子激光雷达探测器的性能，也为其在环境监测、自动驾驶等领域的应用奠定了基础。

4. 应用场景适应性

国产单光子激光雷达探测器在特定应用场景下展现出独特价值。例如：

• 全固态激光雷达 ：国内在Flash激光雷达技术方面取得领先地位，已在极石01等车型中实现补盲应用。
• SPAD大面阵 ：虽然面临技术挑战，但部分国产产品性能已接近国际领先水平，为未来大规模应用奠定了基础。

这些优势使国产单光子激光雷达探测器能够更好地满足国内市场需求，特别是在智能交通、环境监测等领域。随着技术的不断进步和产业链的完善，国产单光子激光雷达探测器有望在全球市场中占据更重要的地位。

六.市场与产业化

6.1 量产产品概况

在国产单光子激光雷达探测器的产业化进程中，多家企业展现出强劲的发展势头。这些企业不仅在技术创新方面取得突破，还在量产能力和产品规格上不断提升，为我国激光雷达产业的发展奠定了坚实基础。

深圳奥锐达科技有限公司推出的全固态激光雷达技术方案是国产单光子激光雷达探测器产业化的重要成果。该方案采用 VCSEL+SPAD 技术架构，实现了分辨率和探测距离的显著突破。奥锐达的全固态激光雷达样件Ordarray已完成全套技术链路的验证，并实现了大规模固态面阵激光雷达的集成设计。

Ordarray的主要技术规格包括：

• 测距能力 ：30米@10%反射率
• 点频 ：49.2万点每秒
• 视场角 ：180°x140°
• 体积 ：50x30mm

值得注意的是，Ordarray采用全固态结构设计，内部没有任何机械旋转运动部件，大大降低了产品的体积和故障率，提高了产品的可靠性。

在生产能力方面，奥锐达结合多年3D视觉类产品大规模量产经验，自主研发了机器视觉自动化装调方案。这一创新方案减少了繁琐的人工校准程序，显著提升了激光雷达的可量产性。

奥锐达计划在2022年建成符合IATF 16949标准的车规级产线，这将进一步提升其量产能力和产品质量。

此外，其他国产激光雷达企业也在积极推进单光子激光雷达探测器的产业化进程。例如，镭神智能在徐州建立了15000㎡的全自动化制造中心，其车规混合固态激光雷达年产能可达68万台。

这些量产产品的推出不仅展示了国产单光子激光雷达探测器的技术实力，也为我国智能交通、自动驾驶等领域的发展提供了重要支撑。随着技术的不断进步和产业化能力的提升，国产单光子激光雷达探测器有望在全球市场中占据更重要的地位。

6.2 价格对比分析

在国产单光子激光雷达探测器的产业化进程中，价格优势是其重要的竞争因素之一。与发达国家同类产品相比，国产单光子激光雷达探测器在价格上展现出明显的优势，这主要得益于国内完善的产业链和规模化生产能力。

以下是国产单光子激光雷达探测器与国际同类产品的价格对比分析：

1. 车载激光雷达

• 国产产品平均单价：3000元左右
• 国际同类产品价格：显著高于国产产品

这种价格差异使国产单光子激光雷达探测器在成本敏感的车载应用市场中具有较强的竞争力。

2. 大疆览沃MID-360激光雷达

• 价格：低至3999元
• 特点：体积小、重量轻、价格低，适合工业和无人物流领域

这种低成本的产品定位使其在特定应用场景中具有独特优势，能够满足对价格敏感的客户需求。

3. 固态补盲激光雷达

• 价格：尚未公开，但预计将低于传统机械式激光雷达
• 特点：采用全固态结构设计，内部无机械旋转运动部件，体积小、故障率低、可靠性高

固态补盲激光雷达的技术创新不仅提升了产品性能，还为降低成本提供了可能。

价格差异背后的原因主要包括：

1. 产业链完善 ：国内拥有完整的激光雷达产业链，从芯片制造到系统集成，各环节的协同效应降低了整体成本。
2. 规模化生产 ：随着国内激光雷达产业的快速发展，规模化生产带来的规模经济效应进一步降低了单位产品的成本。
3. 技术创新 ：国内企业在固态激光雷达等新兴技术领域的突破，不仅提高了产品性能，还为降低成本提供了新的途径。

然而，需要注意的是，价格优势并不意味着国产单光子激光雷达探测器在所有方面都优于国际产品。在某些高端应用领域，国际领先企业仍可能凭借其技术优势保持较高的定价。随着国产单光子激光雷达探测器技术的不断进步，预计其在性能和价格方面将继续缩小与国际先进水平的差距，为我国激光雷达产业的发展注入新的动力。

七.未来发展方向

7.1 技术创新趋势

在国产单光子激光雷达探测器的未来发展中，技术创新将聚焦于提升探测性能和降低成本。具体而言，研究方向可能包括：

1. 新型材料应用 ：探索高性能InGaAs材料的制备和加工技术，以提高探测器在近红外波段的探测效率。
2. 先进制造工艺 ：开发更小像素尺寸和更高像素密度的SPAD阵列技术，实现更高分辨率的成像。
3. 量子技术融合 ：探索量子点、超导等前沿技术与单光子激光雷达的结合，提升探测器的灵敏度和抗干扰能力。
4. 人工智能算法 ：开发智能算法优化激光雷达的数据处理和目标识别能力，提高系统的整体性能。

这些创新有望推动国产单光子激光雷达探测器在自动驾驶、环境监测等领域的应用拓展。

7.2 应用拓展前景

随着技术的不断进步，国产单光子激光雷达探测器的应用前景将更加广阔。除了现有的自动驾驶和环境监测领域，未来可能在以下几个方向实现应用拓展：

1. 量子通信 ：为量子密钥分发提供高精度的单光子探测，保障信息安全。
2. 生物医学成像 ：实现高分辨率的生物组织成像，助力疾病诊断和药物研发。
3. 工业检测 ：用于精密零部件的三维测量和缺陷检测，提高生产质量。
4. 智能农业 ：进行作物生长监测和病虫害预警，推动农业智能化。

这些应用领域的拓展将进一步推动国产单光子激光雷达探测器技术的发展和产业化进程。