一篇文章讲清楚三种ESD模型（人体模型、机器模型、充电器件模型）

一、简介

1、人体模型 (Human Body Model, HBM)

这个模型模拟了当人体携带静电并突然放电到设备上的情景。它通常涉及一个100pF的电容，通过一个电阻（通常是1.5kΩ）迅速放电到设备的引脚上，用来评估电子元件或系统的静电防护能力。

2、机器模型 (Machine Model, MM)

机器模型代表了设备在自动化生产或处理过程中，由于接触分离而产生的静电放电。相比HBM，MM放电电流通常更大，因为其等效电路中没有串联电阻或电阻值很小（可以视为直流通路），并且电容值较大，导致放电峰值电流可达几百安培，持续时间为几百纳秒。

3、充电器件模型 (Charged Device Model, CDM)

此模型模拟了带有静电电荷的器件自身在接触导体或接地时发生的放电现象。CDM放电通常具有非常快的上升时间和高电流密度，对半导体器件的内部结构构成严峻挑战，尤其是对那些超大规模集成电路(VLSI)和先进的半导体技术。

二、特点

1、人体模型放电

人体模型放电是一种常用的静电放电测试模型，用来模拟人体接触电子设备时可能产生的静电放电现象。HBM放电的典型参数大致如下：

1）峰值电压：通常在几千到数万伏特，具体数值取决于起始条件，但常见的测试水平为2kV至15kV。

2）峰值电流：HBM放电的峰值电流一般小于0.7A，常见参考值大约是0.6A至0.8A，具体取决于放电电压和其他测试条件。

3）放电时间：约为150ns至300ns，150ns是较为典型的放电时间。

2、机器模型放电

它主要用于模拟带有塑料外壳的自动化设备或生产线上工具接触电子器件时可能发生的静电释放情况。MM放电的一些典型参数包括：
1）峰值电流：机器模型放电的峰值电流通常小于8A，

2）放电时间：MM放电的时间非常短，一般在5ns左右，这比HBM的放电时间要短得多，模拟了快速放电的情形。

3）峰值电压：机器模型放电的峰值电压并不是一个固定值，因为它可以根据具体的测试设置变化，但一般来说，机器模型测试的电压水平相比人体模型（HBM）会有所降低。在实际应用中，MM测试的电压范围可能从几百伏特到几千伏特不等，具体取决于所依据的标准和被测设备的要求。然而，具体到峰值电压的确切数值，常见的测试等级可能包括200V、400V、600V等，这取决于不同的测试标准和产品耐受性评估。值得注意的是，尽管峰值电压是理解静电放电效应的一个重要参数，但在MM中，更强调的是其高电流和短时间的特点，这些因素往往对电子元件构成更大的威胁。因此，在设计防护措施时，除了考虑电压水平外，还需特别注意电流承载能力和响应速度。

3、充电器件模型放电

它专门用于评估半导体器件在制造、处理或组装过程中因自身带电而发生的放电现象。与人体模型不同，CDM更关注器件内部的脆弱性，特别是在现代高集成度和小型化芯片中。CDM放电的特点包括：

1）峰值电压：CDM放电的峰值电压范围大致在250V到几千伏特不等，具体数值依据测试标准（如ANSI/ESD STM5.3.1）和被测器件的特性。例如，STM5.3.1标准中的测试电压可选范围是250V至1000V，增量通常为100V。

2）峰值电流：CDM放电可以产生非常高的峰值电流，通常在几千安培（A）的量级，有的情况下甚至更高，例如10kA至20kA。这是由于放电时间极短，导致电流密度极大。

3）放电时间：CDM放电事件的持续时间非常短暂，一般在纳秒(ns)范围内，常见的放电时间约为5ns至20ns，这要求保护措施必须具有极高的响应速度。

4）电容值：在CDM测试设置中，器件自身的电容是关键参数之一，它决定了放电能量的大小。典型测试中使用的电容值可能在10pF至200pF之间，具体取决于被测器件的实际情况