[超表面论文快讯-164]Nature Photonics-BIC超表面实现角色散抑制-慕尼黑大学

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• 论文基本信息：

  标题：
  Angular Dispersion Suppression in Deeply Subwavelength Phonon Polariton Bound States in the Continuum Metasurfaces

  作者：
  Lin Nan（慕尼黑大学纳米研究所）；
  Andrea Mancini（慕尼黑大学纳米研究所）；
  Thomas Weber（慕尼黑大学纳米研究所）；
  Geok Leng Seah（南洋理工大学材料科学与工程学院）；
  Emiliano Cortés（慕尼黑大学纳米研究所）；
  通讯作者 Andreas Tittl（慕尼黑大学纳米研究所）；
  通讯作者 Stefan A. Maier（伦敦帝国理工学院物理系）

  发表时间：
  2025年5月16日（其中2024年10月7日投稿，2025年3月28日接收）

  发表期刊：
  Nature Photonics(JCR-Q1,IF=32.3)

• 论文快览：

  解决的问题：
  准连续域束缚态（qBIC）超表面在实现高品质因子与紧凑化设计间存在矛盾：传统电介质或等离子体超表面单元尺寸受限于共振波长（需与波长尺度相当），导致器件体积庞大且存在显著角度色散（如入射角变化引起共振频移）。现有方案虽通过对称性破缺调控qBIC，但亚波长单元设计与角度鲁棒性难以兼得，制约其在宽视场显微检测、雷达隐身等动态场景中的应用。

  提出的方法：
  本研究设计基于表面声子极化激元（SPhP）的碳化硅（SiC）超表面，通过反向结构（椭圆孔阵列）结合对称性破缺激活qBIC。采用100 nm厚自支撑SiC薄膜，利用其负介电常数特性（Re(ε) ≤0）实现深亚波长单元（边长<λ0/5），通过电子束光刻与反应离子刻蚀制备椭圆孔阵列。单元几何参数（孔长轴、短轴及旋转角β）优化调控qBIC辐射与非辐射损耗，结合Cassegrain物镜实现宽角度入射下的稳定响应。

  实现的效果：
  实验表明，SiC超表面单元体积仅为自由空间波长体积的1.25×10⁻⁵倍（较传统电介质方案缩小10⁵倍），Q因子达800以上。角度稳定性测试中，入射角变化±50°时共振频率偏移<0.5 cm⁻¹，较金基超表面提升20倍。振动强耦合实验中，与30 nm厚聚乙二醇（PEG）层耦合时观测到11.5 cm⁻¹的拉比分裂，验证了高场增强（>100倍）与分子检测灵敏度。

  创新点分析：
  本研究的核心突破在于首次将表面声子极化激元物理与深亚波长qBIC设计结合，通过SiC的负介电特性突破单元尺寸与角度色散的权衡。区别于传统电介质或金属超表面，SPhP的慢声子散射机制抑制非辐射损耗，使Q因子与场增强协同优化。亚波长单元设计通过局域相位一致性消除角度敏感性，为Cassegrain物镜兼容的中红外传感提供了无需复杂校准的解决方案，推动了qBIC技术从实验室定制向工业级集成应用的跨越。

论文重要图文：

摘要：通过光子超表面对称性破缺实现的连续体准束缚态（qBICs）是设计高Q因子可调谐共振的强有力手段。然而，该器件的微型化受限于单元尺寸通常与共振波长呈线性缩放关系。相比之下，极化激元谐振器可实现深度亚波长尺度，为紧凑型器件提供了新思路。本研究证明，低损耗中红外表面声子极化激元支持的超表面可实现单元体积比自由空间体积λ₀³小高达10⁵倍的qBIC态。利用100纳米厚度的自支撑碳化硅（SiC）薄膜，我们实现了高度局域的qBIC态，其入射角鲁棒性远超常规qBIC系统。这种无角散特性使得在反射式物镜下能够对弱吸收分子层进行中红外振动传感，而传统qBIC超表面在此类光学架构中通常会出现共振质量劣化。基于表面声子极化激元的qBIC为超局域纳米光子系统提供了新平台，推动了中红外传感器与热辐射工程器件的微型化进程。

结论：本研究首次实现了声子极化激元介导的qBIC超表面。通过远场/近场表征与数值模拟，确证了qBIC的本质特性。借助低损耗极化激元材料，单元尺寸缩减至约1.25×10⁻⁵ λ₀³，实现了极致微型化。这种深度亚波长特性使超表面展现出显著的入射角无关性（与传统对称保护型qBIC系统截然不同）。数值模拟证实该特性是深度亚波长极化激元超表面的普适特征，与材料和谐振器构型无关。此发现为声子qBIC超表面在隐身技术与全向辐射制冷等广角稳定应用场景开辟新路径。实验证明，无角散特性使标准离轴卡塞格林物镜可进行表面增强红外吸收实验而不影响qBIC共振质量。强电磁局域效应促成了弱谐振器（如聚乙二醇）与qBIC系统的振动强耦合。尽管剥离式氮化硼天线已展示声子极化激元振动强耦合[50]，本研究首次在CMOS兼容的大面积平台上实现该效应。碳化硅体系可直接应用于表面增强红外吸收、非线性中红外光学以及纳米尺度强耦合调控化学反应路径]等领域。

图1 | 高局域表面声子极化激元驱动qBIC
(a) 由硅（Si，介电体）、金（Au，金属）与碳化硅（SiC，极性介电体）构成的超表面单元示意图，展示λ=11 μm处的qBIC共振。横轴为单元特征边长与波长的比值，纵轴为结构厚度。
(b) Si、Au与SiC的介电常数实部对比。
© 三种超表面在qBIC共振下的单元体积Vuc对比（插图为Au与SiC的局部放大）。
(d) 三种材料在qBIC共振下的最大场增强（FE）对比。
(e) 负型超表面激发qBIC所需的偏振方向沿短轴（y方向），与正型结构（根据巴比涅原理）旋转90°。
(f) Si、Au与SiC负型结构的qBIC波数模拟结果：SiC qBIC在TM与TE偏振下均无角散，而Si与Au超表面随倾斜入射显著偏移。
(g) SiC负型超表面在法向入射下，不同椭圆倾角β（y偏振：实线；x偏振：虚线）的模拟光谱，SP表示单孔（即单粒子）共振。

图2 | SPhP驱动qBIC的远场与近场表征
(a) 超表面单元几何参数示意图（上）与加工阵列局部扫描电镜斜视图（下，比例尺500 nm）。
(b) 透射傅里叶红外（FTIR）测量中的偏振方向示意图。
© S=1、不同β角的超表面模拟（上）与实验（下）远场透射光谱。
(d) 基于TCMT拟合实验数据提取的辐射Q因子。
(e) 散射式扫描近场光学显微镜（sSNOM）近场成像装置示意图。
(f) qBIC共振频率下表面电场垂直分量的模拟（上）振幅（左）与相位（右），以及sSNOM测量的近场振幅与相位（二次解调阶sO2，下）。
(g) 高阶模式（非qBIC特性）的同参数对比（比例尺500 nm）。

图3 | 深度亚波长qBIC的角鲁棒性
(a) 多入射角ψ透射测量实验装置。
(b) S=1、β=40°超表面在法向至ψ=50°倾斜入射下的模拟与实验光谱（TM偏振：上，θ=0°；TE偏振：下，θ=90°）。
© 理想Drude材料超表面角响应模拟：小缩放因子（S=2⁻⁶）无角散，大单元（S=2²）角鲁棒性丧失（横轴为归一化量S×Py/λ₀）。
(d) 理想Drude模型的角散平均导数随单元尺寸变化：金属区（大单元）角散显著，极化激元区（深度亚波长单元）角鲁棒性优异（曲线标注各S对应的qBIC共振频率下介电函数实部值）。

图4 | 碳化硅qBIC与聚乙二醇（PEG）的振动强耦合
(a) 不同缩放因子（0.4–1.5）裸SiC超表面实验与模拟透射光谱。
(b) 振动强耦合示意图：BIC共振与PEG吸收带光谱重叠，导致BIC模式分裂为上、下极化激元态。
© 30纳米厚PEG覆盖SiC超表面实验与模拟反交叉现象（虚线为TCMT拟合参数与11.5 cm⁻¹拉比分裂计算的极化激元色散）。

参考文献：

• an, L., Mancini, A., Weber, T. et al. Angular dispersion suppression in deeply subwavelength phonon polariton bound states in the continuum metasurfaces. Nat. Photon. (2025).
  DOI: https://doi.org/10.1038/s41566-025-01670-9

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