***********************************************************************
***** Interconnect Capacitance Table ************
***********************************************************************
Process: smic 0.18um BCD Epi 1P6M(5M, 4M,3M) Salicide 1.8V/5V/10V/12V/20V/35V/40V spice model
Version: v1.14
Date: 2018-11-28
Corner: Typical
Structure: Structure-2 (Parallel lines between two plates)
(Please refer to SPICE model document for the definition of each capacitance)
**************************
* Layers: M2-M1-AA *
**************************
Width Spacing Ctotal Cbottom Ctop Cb_area Ct_area Ccoup Csd Csu
(um) (um) (fF/um) (fF/um) (fF/um) (fF/um) (fF/um) (fF/um) (fF/um) (fF/um)
------- ------- -------- -------- -------- -------- -------- -------- -------- --------
0.230 0.230 2.58E-01 2.32E-02 1.97E-02 1.08E-02 9.12E-03 1.08E-01 6.20E-03 5.29E-03
0.230 0.290 2.22E-01 2.55E-02 2.17E-02 1.08E-02 9.12E-03 8.72E-02 7.35E-03 6.28E-03
0.230 0.365 1.93E-01 2.83E-02 2.41E-02 1.08E-02 9.12E-03 7.02E-02 8.76E-03 7.49E-03
0.230 0.459 1.70E-01 3.17E-02 2.70E-02 1.08E-02 9.12E-03 5.58E-02 1.05E-02 8.95E-03
0.230 0.578 1.53E-01 3.54E-02 3.05E-02 1.08E-02 9.12E-03 4.35E-02 1.23E-02 1.07E-02
0.230 0.727 1.41E-01 4.00E-02 3.44E-02 1.08E-02 9.12E-03 3.30E-02 1.46E-02 1.27E-02
0.230 0.916 1.32E-01 4.53E-02 3.88E-02 1.08E-02 9.12E-03 2.41E-02 1.72E-02 1.48E-02
0.230 1.153 1.27E-01 5.01E-02 4.32E-02 1.08E-02 9.12E-03 1.66E-02 1.97E-02 1.71E-02
0.230 1.451 1.24E-01 5.49E-02 4.75E-02 1.08E-02 9.12E-03 1.06E-02 2.21E-02 1.92E-02
0.230 1.827 1.23E-01 5.92E-02 5.11E-02 1.08E-02 9.12E-03 6.13E-03 2.42E-02 2.10E-02
0.230 2.300 1.22E-01 6.18E-02 5.36E-02 1.08E-02 9.12E-03 3.15E-03 2.55E-02 2.22E-02
0.230 2.896 1.22E-01 6.36E-02 5.51E-02 1.08E-02 9.12E-03 1.46E-03 2.64E-02 2.30E-02
0.230 3.645 1.22E-01 6.47E-02 5.59E-02 1.08E-02 9.12E-03 6.18E-04 2.70E-02 2.34E-02
0.230 4.589 1.22E-01 6.48E-02 5.62E-02 1.08E-02 9.12E-03 2.71E-04 2.70E-02 2.35E-02
0.230 5.777 1.22E-01 6.52E-02 5.64E-02 1.08E-02 9.12E-03 1.45E-04 2.72E-02 2.36E-02
0.230 7.273 1.22E-01 6.53E-02 5.64E-02 1.08E-02 9.12E-03 1.08E-04 2.73E-02 2.37E-02
0.230 9.156 1.22E-01 6.51E-02 5.64E-02 1.08E-02 9.12E-03 4.14E-05 2.71E-02 2.37E-02
0.230 10.000 1.22E-01 6.51E-02 5.64E-02 1.08E-02 9.12E-03 3.15E-05 2.71E-02 2.37E-02
------- ------- -------- -------- -------- -------- -------- -------- -------- --------
************************************
* Layers: M2-M1-POLY (on AA) *
************************************
Width Spacing Ctotal Cbottom Ctop Cb_area Ct_area Ccoup Csd Csu
(um) (um) (fF/um) (fF/um) (fF/um) (fF/um) (fF/um) (fF/um) (fF/um) (fF/um)
------- ------- -------- -------- -------- -------- -------- -------- -------- --------
0.230 0.230 2.60E-01 2.99E-02 1.94E-02 1.45E-02 9.12E-03 1.06E-01 7.68E-03 5.12E-03
0.230 0.290 2.24E-01 3.29E-02 2.13E-02 1.45E-02 9.12E-03 8.50E-02 9.21E-03 6.11E-03
0.230 0.365 1.96E-01 3.66E-02 2.38E-02 1.45E-02 9.12E-03 6.78E-02 1.11E-02 7.33E-03
0.230 0.459 1.74E-01 4.10E-02 2.67E-02 1.45E-02 9.12E-03 5.33E-02 1.33E-02 8.79E-03
0.230 0.578 1.58E-01 4.57E-02 3.02E-02 1.45E-02 9.12E-03 4.10E-02 1.56E-02 1.05E-02
0.230 0.727 1.46E-01 5.14E-02 3.42E-02 1.45E-02 9.12E-03 3.05E-02 1.84E-02 1.25E-02
0.230 0.916 1.39E-01 5.73E-02 3.83E-02 1.45E-02 9.12E-03 2.16E-02 2.14E-02 1.46E-02
0.230 1.153 1.34E-01 6.31E-02 4.25E-02 1.45E-02 9.12E-03 1.44E-02 2.43E-02 1.67E-02
0.230 1.451 1.32E-01 6.82E-02 4.63E-02 1.45E-02 9.12E-03 8.77E-03 2.68E-02 1.86E-02
0.230 1.827 1.31E-01 7.22E-02 4.93E-02 1.45E-02 9.12E-03 4.80E-03 2.89E-02 2.01E-02
0.230 2.300 1.31E-01 7.48E-02 5.13E-02 1.45E-02 9.12E-03 2.32E-03 3.02E-02 2.11E-02
0.230 2.896 1.31E-01 7.63E-02 5.24E-02 1.45E-02 9.12E-03 1.02E-03 3.09E-02 2.17E-02
0.230 3.645 1.31E-01 7.70E-02 5.30E-02 1.45E-02 9.12E-03 4.17E-04 3.13E-02 2.19E-02
0.230 4.589 1.31E-01 7.72E-02 5.32E-02 1.45E-02 9.12E-03 1.92E-04 3.14E-02 2.20E-02
0.230 5.777 1.31E-01 7.73E-02 5.32E-02 1.45E-02 9.12E-03 1.23E-04 3.14E-02 2.21E-02
0.230 7.273 1.31E-01 7.74E-02 5.33E-02 1.45E-02 9.12E-03 7.13E-05 3.15E-02 2.21E-02
0.230 9.156 1.31E-01 7.74E-02 5.33E-02 1.45E-02 9.12E-03 2.85E-05 3.15E-02 2.21E-02
0.230 10.000 1.31E-01 7.74E-02 5.33E-02 1.45E-02 9.12E-03 2.35E-05 3.15E-02 2.21E-02
------- ------- -------- -------- -------- -------- -------- -------- -------- --------
**************************
* Layers: M3-M1-AA *
**************************
Width Spacing Ctotal Cbottom Ctop Cb_area Ct_area Ccoup Csd Csu
(um) (um) (fF/um) (fF/um) (fF/um) (fF/um) (fF/um) (fF/um) (fF/um) (fF/um)
------- ------- -------- -------- -------- -------- -------- -------- -------- --------
0.230 0.230 2.55E-01 2.51E-02 8.78E-03 1.08E-02 3.42E-03 1.11E-01 7.17E-03 2.68E-03
0.230 0.290 2.19E-01 2.75E-02 9.58E-03 1.08E-02 3.42E-03 9.07E-02 8.35E-03 3.08E-03
0.230 0.365 1.89E-01 3.03E-02 1.06E-02 1.08E-02 3.42E-03 7.41E-02 9.76E-03 3.56E-03
0.230 0.459 1.66E-01 3.37E-02 1.17E-02 1.08E-02 3.42E-03 6.01E-02 1.15E-02 4.15E-03
0.230 0.578 1.47E-01 3.76E-02 1.31E-02 1.08E-02 3.42E-03 4.83E-02 1.34E-02 4.86E-03
0.230 0.727 1.33E-01 4.22E-02 1.48E-02 1.08E-02 3.42E-03 3.82E-02 1.57E-02 5.70E-03
0.230 0.916 1.23E-01 4.74E-02 1.67E-02 1.08E-02 3.42E-03 2.96E-02 1.83E-02 6.65E-03
0.230 1.153 1.16E-01 5.29E-02 1.88E-02 1.08E-02 3.42E-03 2.22E-02 2.10E-02 7.71E-03
0.230 1.451 1.11E-01 5.85E-02 2.10E-02 1.08E-02 3.42E-03 1.60E-02 2.38E-02 8.81E-03
0.230 1.827 1.09E-01 6.37E-02 2.32E-02 1.08E-02 3.42E-03 1.08E-02 2.65E-02 9.87E-03
0.230 2.300 1.07E-01 6.83E-02 2.51E-02 1.08E-02 3.42E-03 6.85E-03 2.88E-02 1.08E-02
0.230 2.896 1.06E-01 7.19E-02 2.66E-02 1.08E-02 3.42E-03 3.95E-03 3.06E-02 1.16E-02
0.230 3.645 1.06E-01 7.44E-02 2.77E-02 1.08E-02 3.42E-03 2.06E-03 3.18E-02 1.21E-02
0.230 4.589 1.06E-01 7.59E-02 2.83E-02 1.08E-02 3.42E-03 9.69E-04 3.25E-02 1.25E-02
0.230 5.777 1.06E-01 7.66E-02 2.87E-02 1.08E-02 3.42E-03 4.40E-04 3.29E-02 1.26E-02
0.230 7.273 1.06E-01 7.70E-02 2.88E-02 1.08E-02 3.42E-03 1.73E-04 3.31E-02 1.27E-02
0.230 9.156 1.06E-01 7.71E-02 2.89E-02 1.08E-02 3.42E-03 8.97E-05 3.32E-02 1.27E-02
0.230 10.000 1.06E-01 7.71E-02 2.89E-02 1.08E-02 3.42E-03 7.53E-05 3.32E-02 1.27E-02
------- ------- -------- -------- -------- -------- -------- -------- -------- --------
**************************
* Layers: M3-M2-AA *
**************************
Width Spacing Ctotal Cbottom Ctop Cb_area Ct_area Ccoup Csd Csu
(um) (um) (fF/um) (fF/um) (fF/um) (fF/um) (fF/um) (fF/um) (fF/um) (fF/um)
------- ------- -------- -------- -------- -------- -------- -------- -------- --------
0.280 0.280 2.27E-01 1.07E-02 2.50E-02 4.42E-03 1.11E-02 9.55E-02 3.14E-03 6.93E-03
0.280 0.352 1.96E-01 1.17E-02 2.73E-02 4.42E-03 1.11E-02 7.83E-02 3.64E-03 8.12E-03
0.280 0.444 1.71E-01 1.29E-02 3.02E-02 4.42E-03 1.11E-02 6.38E-02 4.24E-03 9.56E-03
0.280 0.559 1.51E-01 1.44E-02 3.36E-02 4.42E-03 1.11E-02 5.16E-02 4.98E-03 1.12E-02
0.280 0.703 1.36E-01 1.61E-02 3.75E-02 4.42E-03 1.11E-02 4.11E-02 5.85E-03 1.32E-02
0.280 0.885 1.24E-01 1.82E-02 4.20E-02 4.42E-03 1.11E-02 3.22E-02 6.87E-03 1.55E-02
0.280 1.115 1.16E-01 2.05E-02 4.70E-02 4.42E-03 1.11E-02 2.44E-02 8.02E-03 1.79E-02
0.280 1.403 1.11E-01 2.29E-02 5.21E-02 4.42E-03 1.11E-02 1.79E-02 9.25E-03 2.05E-02
0.280 1.767 1.07E-01 2.54E-02 5.72E-02 4.42E-03 1.11E-02 1.24E-02 1.05E-02 2.31E-02
0.280 2.224 1.05E-01 2.77E-02 6.18E-02 4.42E-03 1.11E-02 7.96E-03 1.16E-02 2.53E-02
0.280 2.800 1.05E-01 2.96E-02 6.55E-02 4.42E-03 1.11E-02 4.70E-03 1.26E-02 2.72E-02
0.280 3.525 1.04E-01 3.10E-02 6.83E-02 4.42E-03 1.11E-02 2.49E-03 1.33E-02 2.86E-02
0.280 4.438 1.04E-01 3.18E-02 6.99E-02 4.42E-03 1.11E-02 1.18E-03 1.37E-02 2.94E-02
0.280 5.587 1.04E-01 3.23E-02 7.07E-02 4.42E-03 1.11E-02 5.41E-04 1.39E-02 2.98E-02
0.280 7.033 1.04E-01 3.25E-02 7.12E-02 4.4