硬盘读写头、微显示器（Microdisplays）和微量喷墨头,目前占据着70%以上的MEMS市场。而汽车电子、移动通讯、消费电子、以及医疗检测等领域,将是MEMS技术产业化应用的新热点。ST微电子MEMS事业单位前道技术和制造总监Benedetto Vigna表示,ST的MEMS技术因具多轴响应、分辨率高、功耗低、单封装等特点,在运动传感器、加速计以及倾斜传感器市场大受欢迎。
先进封装技术作保 MEMS更加稳定 MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）本质上是一种把微型机械元件（如传感器、制动器等）与电子电路集成在同一颗芯片上的半导体技术。大多数芯
MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）技术，是一种将微型机械元件，如传感器、制动器等，与电子电路集成在同一块芯片上的半导体技术。这种技术的独特之处在于它不仅利用了半导体的电气特性，还利用了机械特性，使微型器件具有高可靠性且成本低廉。在当前市场中，硬盘读写头、微显示器（Microdisplays）和微量喷墨头是MEMS的主要应用领域，占据了超过70%的市场份额。然而，随着技术的发展，MEMS在汽车电子、移动通讯、消费电子和医疗检测等领域展现出巨大的潜力。
ST微电子是MEMS技术领域的领导者，其MEMS产品因其多轴响应、高分辨率、低功耗和单封装的特点，在运动传感器、加速计和倾斜传感器市场上广受欢迎。例如，ST的THELMA技术是一种0.8mm的表面微加工技术，能将不同厚度的多晶硅整合，用于结构和互连线路，提高了器件的性能和稳定性。此外，ST采用LGA封装工艺制造加速计，并实现了线性和角度加速计、陀螺仪与微处理器和存储器的SiP（System in Package）封装，降低了制造成本，为运动激活式产品设计提供了可能。
MEMS加速计是消费电子产品中的一项关键应用。在PDA和游戏机中，它们可以通过检测设备的倾斜来改进用户界面，无需传统的键盘或鼠标。ST的三轴加速计LIS3L02是全球首个能检测三个方向运动的集成电路，为各种设备开辟了新的应用场景。除了在手持设备中的应用，ST的加速计还在汽车安全系统中扮演重要角色，例如在正确的时间以适当的力度启动安全气囊。在导航系统中，即使没有GPS信号，MEMS也能通过计算运动和行程来校正数字罗盘，甚至在家电产品中，如洗衣机，作为振动检测器，防止机器因负载不平衡而过早损坏。
ST的MEMS技术还延伸到了热射流器件的开发，例如为HP提供的加热式喷墨打印头，其中包含了微型加热元件和控制电路，能蒸发墨水并形成微小墨滴喷射到纸张上。此外，与Agilent合作的光开关矩阵是另一个创新应用，体现了MEMS技术在光通信领域的潜力。
EDA/PLD中的MEMS技术正在逐步进入消费电子应用，其小型化、高性能和低成本的优势推动了汽车电子、移动通讯、家电和医疗设备等领域的技术创新。随着封装技术和制造工艺的不断进步，MEMS技术有望在更多领域发挥重要作用，为我们的日常生活带来更多便捷和智能。
