央视《经济半小时》报道多家国产MEMS传感器芯片企业看谁上榜-电子发烧友网

6月30日，央视《经济半小时》以【小米3纳米答卷的背后】为主题，报道了国内多家半导体芯片企业，其中包括MEMS 传感器芯片龙头敏芯股份、苏州纳米城MEMS中试平台等。一起来看

苏州培风图南半导体有限公司

是为晶圆厂提供生产制造全流程的

电子设计自动化软件厂商

其自主研发的三维工艺与器件仿真软件

刚刚进入3纳米先进制程的适配测试阶段

公司工程师顾朝桥表示，这是公司开发的器件仿真软件，比如，我现在跑的这款是一个一个逻辑器件，在实验室进行实际流片可能是几个月，在我的软件上从头到尾（仿真）一遍，可能就要10来分钟就可以了。

屏幕上的仿真演示

是这家民营企业在芯片研制领域

将近20年探索的一个阶段性成果

2007年这家公司刚刚创立时

国内在先进制程芯片设计软件领域

几乎一片空白

公司创始人贡顶选择摸着石头过河，先后经历了十多个版本的迭代，终于和团队研发出了这套用于先进制程芯片制造的仿真软件。

当他揣着自己辛苦研发的产品向晶圆厂推销时，却被泼了一盆冷水。即使要支付国际巨头高昂授权费用，大多数晶圆厂也不愿轻易采用国内民营企业自主研制的设计软件。

转机发生在2022年

美国对先进制程的电子设计

自动化软件实施出口禁令

迫使长期依赖进口工具的晶圆厂

开始试水国产设计软件

晶圆厂愿意接纳只是一个开始

性能到底可不可靠

才是能让晶圆厂用脚投票的关键

贡顶的团队还在不断

向更先进的工艺制程发起冲击

在苏州工业园区

除了芯片设计

还聚集了从事晶圆制造

芯片封装测试等一批民营企业

苏州敏芯微电子技术股份有限公司

声学实验室里

工作人员正在对一款

微型麦克风进行性能测试

麦克风的任务

是将人耳听到的声音精准转换为电信号

而实现这一功能的关键

是一颗灵敏稳定的声学传感器

公司质量经理朱启发表示，这款产品最终的话主要是用在一些比如说智能手机，然后还有一些比如说降噪耳机，还有车载的一些降噪系统这样一些应用，我们最关键的有一颗机械芯片是MEMS（微机电系统）芯片，是我们有完全的自主知识产权的自己设计的。

MEMS芯片只有微米级大小

却能实现对声音、压力、温度等

信号的高精度捕捉

它是在怎样的环境中被生产出来的呢？

公司创始人李刚表示，这个是我们最先进的一个百级超净间，通常在传统封装厂里一般的万级的一个封装车间。因为我们封装的是MEMS（微机电系统）麦克风，其实它的封装过程中它是对我们的颗粒是比较敏感的，它会导致失效，所以我们必须要把超精尖的等级提的就是非常高。

过去很长一段时间

搭载MEMS芯片的传感器核心技术

都被国际巨头垄断

中国企业只能参与部分环节的代工

设计、制造都受制于人

2006年

李刚团队尝试自主研发MEMS传感器

虽然初期做出了一些性能合格的样品

但真正面临产业化时

困难接踵而至

李刚表示，第一个就是资金的问题，你要做量产，它的资金量还是比较大的。第二个问题其实就是产业链的问题，就是国内那时候MEMS（微机电系统）产业还没有一个完整的产业链。

对于初创企业来说

这是一道很难逾越的门槛

既没有足够资金投入建设中试产线

又难以从一次次试错中摸索出可行路径

如何才能帮助力量相对薄弱的民营企业

跨越“从样品到量产”的“死亡之谷”呢？

苏州纳米城MEMS研发中试平台

离子刻蚀机正对6英寸硅片进行微米级加工

这条5200平方米百级洁净车间

配备五大工艺平台的中试线

苏州纳米城MEMS中试平台黄光蚀刻经理顾炳晓表示，这些盒子装的都是我们很多客户在我们这边小规模流片的MEMS（微机电系统）产品，客户把产品送过来，我们是经过整个产品的一套工艺流程，大概有上百步的一个工艺加工工序，这两片产品是我们的一个典型的6寸的一个压力传感器的芯片，我们可以看到上面有加工了很多成千上万颗一个芯片。

苏州纳米城MEMS中试平台生产业务经理王辉表示，芯片制造环节前期投入比较大，后期的运营成本也比较高，很多小型在企业初创之建立之初，它没有这么大的一个资本进行投入，我们这条产线目前的规划产能的话就是一个月5000片，主要是解决从中试到小规小规模量产的一个这个部分，为很多企业从研发到大规模量产中间提供了一个中试加小规模量产的服务。